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Une expertise pour contrôler plus efficacement les procédés de fabrication des Semi-conducteurs

Découvrez le Contrôleur de Puissance EPack avec communication EtherCAT, et le régulateur multiboucle Mini8 avec une précision d’entrée améliorée.

 

Enhanced control designed to meet leading edge technology challenges

The design and build of leading edge technology relies on fast, reliable responses from equipment suppliers to help meet the demands of next generation developments. Machine builders need compact devices to meet smaller machine footprints, and limiting access to valuable IP (intellectual property) is an important factor to protect specialized process recipes. During processing, accurate temperature measurement, precise heater control and fast response to temperature disturbances are required, to achieve the desired temperature stability, uniformity and repeatability for a consistent, high quality yield and optimized throughput.

 

Eurotherm have over 25 years experience in improving control performance within leading edge semiconductor processes, helping machine builders, fabs and foundrys to meet their customers’ challenges and demands.

Est-ce que les perturbations de température affectent votre procédé ?

Des mesures précises et une régulation de précision à action rapide sont nécessaires pour compenser les soudains changements de température dans les chambres de traitement. Le régulateur multiboucle Mini8 est désormais disponible avec des entrées thermocouples améliorées offrant une précision CJ de +/- 0,25°C (0,45°F). Avec jusqu’à 16 boucles de régulation PID de précision et une communication EtherCAT en temps réel, les régulateurs Mini8 offrent une stabilité de température élevée, une régulation à action rapide et répétable, et sont facilement intégrable dans les API et les systèmes plus larges.

Vous recherchez un contrôle de puissance réactif pour vos procédés de fabrication ?

Le traitement thermique rapide des plaquettes de silicium semi-conducteur nécessite une réponse de contrôle rapide pour minimiser l’impact des perturbations de température. Le contrôleur de puissance compact EPack monophasé est désormais disponible avec la communication EtherCAT™ pour une réponse de contrôle à action rapide et une connectivité commune entre les appareils. Le contrôleur EPack offre aux utilisateurs finaux une régulation de température précise et reproductible pour des rendements constants de haute qualité, ainsi qu’une surveillance et des diagnostics pour améliorer l’efficacité énergétique et la disponibilité.

Réduire l’empreinte des machines est-il un défi?

As developments in semiconductor technology enable smaller components, machine builders need devices that help meet decreasing machine footprint specifications. Eurotherm process and power control products are designed to provide leading edge functionality in a compact form factor. The Mini8 Multi Loop Controller provides up to 16 precision PID loops and 32 analogue inputs for multizone heater control in a compact modular design, while the EPack Compact Power Controller with real-time measurement, I/O and communications built in, offers precision adjustable power control for 16 to 125A and 100 to 500V applications.

Comment pouvez-vous protéger votre précieuse IP?

When you’ve developed special process control configurations and recipes, its important to protect your intellectual property to prevent copying. Eurotherm Mini8 Multi Loop Controller and EPack Power Controllers have an ‘OEM Security Option’, allowing the control application specialist to limit access to their confidential configuration information, helping to guard their intellectual property.

Vous recherchez un équipement qui est facile et rapide à installer et à maintenir ?

Le temps d’ingénierie peut être considérablement réduit en choisissant des appareils avec des méthodes de configuration intuitives et faciles à utiliser. Les appareils de contrôle Eurotherm sont livrés avec des fonctionnalités qui facilitent la configuration, telles que la pré-configuration au point de commande, le démarrage à code rapide et le logiciel de configuration iTools gratuit pour une configuration de contrôle facile en utilisant la programmation de type blocs ‘fonction’ et un éditeur de câblage graphique.

Intégration Simplifiée

Les régulateurs Mini8 fournissent des blocs ‘fonction’ pour une configuration simplifiée des boucles PID, une programmation de consigne, des recettes, une fonction de protection de la propriété intellectuelle et plus encore. Le contrôleur de puissance EPack propose une variété de modes de régulation et de conduction configurables par logiciel pour s’adapter à une large gamme de charges. Un écran intégré simplifie la configuration, tandis que les diagnostics, les notifications d’alarme et une conception sans ventilateur permettent une maintenance plus rapide.

Vous recherchez des dispositifs de contrôle à réponse rapide et facilement connectable ?

Les procédés de semi-conducteurs se standardisent sur le système de bus de terrain Ethernet haut débit, EtherCAT ™ (Ethernet for Control Automation Technology), qui permet la communication en temps réel des informations du procédé.

Régulateurs compatibles EtherCAT

Le régulateur multiboucle Mini8 et le contrôleur de puissance monophasé EPack sont multi-protocoles et propose la communication EtherCat pour une intégration simplifiée dans l’architecture de la machine. Le protocole de communication EtherCAT offre une réponse de contrôle à action rapide et une connectivité commune entre les appareils EtherCAT, facilement intégrable dans les API et les systèmes plus larges. L’utilisation d’appareils compatibles EtherCAT sur le réseau de contrôle offre une solution rentable car un câblage CATx standard peut être utilisé et des commutateurs réseau ne sont pas nécessaires.

Devez-vous réduire vos usages d’énergie ?

Les objectifs d’émissions environnementales et les prix élevés de l’énergie dans certaines régions incitent les entreprises à améliorer leur efficacité énergétique. Le choix de produits de contrôle capables de mesurer la température avec précision et de contrôler précisément plusieurs zones de chauffage permet de minimiser la consommation d’énergie.

Le régulateur multi-boucle Mini8, avec ses entrées de thermocouple améliorées, offre une précision de mesure CJ de +/- 0,25 ° C (0,45 ° F). Avec 16 boucles de régulation PID de précision, une gamme de fonctions de contrôle de propriété Eurotherm et des blocs fonctionnels, les régulateurs Mini8 offrent un contrôle de température multizone de haute précision qui facilite l’optimisation énergétique.

Le contrôleur de puissance EPack offre une variété de modes de conduction pour s’adapter à une large gamme d’éléments chauffants. Les modes de contrôle et de conduction avancés permettent une réduction du bruit lié aux harmoniques et une optimisation du facteur de puissance sur le réseau électrique. En retour, cela permet de réduire la consommation d’énergie et les pénalités de facteur de puissance imposées par les fournisseurs d’énergie

Est-ce qu’une régulation de température faible affecte le rendement ?

Le traitement thermique des plaquettes de silicium nécessite un contrôle précis de la température avec une réponse rapide aux perturbations de température pour obtenir les propriétés électriques souhaitées pour les circuits intégrés de haute qualité. La rampe vers plusieurs points de consigne de température du procédé sans dépassement et l’atteinte d’un état stable en même temps pour une meilleure uniformité de la température sont essentielles pour obtenir des rendements de haute qualité.

Le régulateur PID multiboucle Mini8, avec ses entrées de thermocouple améliorées, offre une précision de mesure CJ de +/- 0,25 ° C (0,45 ° F). Des algorithmes de régulation spécialisés et la communication EtherCAT permettent une réponse rapide aux perturbations de température avec un dépassement minimal. Une stabilité de température améliorée aide à atteindre l’uniformité thermique des plaquettes pendant le processus de chauffage et de refroidissement.

Le contrôleur de puissance compact EPack monophasé avec communication EtherCAT offre une réponse de contrôle précise en temps réel, permettant une optimisation du cycle de chaleur pour un temps de traitement réduit. Une boucle de contrôle de puissance intégrée compense les perturbations sonores sur le réseau électrique, tandis que le contrôle de puissance numérique permet une répétabilité et une stabilité de la température pour des rendements de haute qualité constants.

Régulateur de Température multiboucle Mini8

Régulation PID de Précision 4-16 Boucles avec Communication EtherCAT

  • Nouvelle fonctionnalité ! – Entrées thermocouple améliorées offrant une précision de mesure CJ de +/-0.25°C (0.45°F)
  • Compacité aidant à réduire l’empreinte des machines
  • Blocs ‘Fonction’ pour un réglage simplifié des boucles PID, programmation de consigne, recettes, protection de la propriété intellectuelle et plus encore…
  • Communication EtherCAT pour une réponse de contrôle à action rapide et une connectivité commune entre les appareils
  • Option Sécurité OEM pour protéger votre propriété intellectuelle
  • Réponse rapide aux perturbations de température avec des dépassements limités, aidant à la qualité du produit et l’efficacité énergétique
  • Surveillances et diagnostics pour améliorer la disponibilité
  • 16 boucles de régulation PID de précision PID offrant une stabilité, uniformité et répétabilité de température pour un rendement constant et de qualité et un débit optimisé

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Contrôleur de Puissance Compact EPack

Contrôle de Puissance monophasé avec Communication EtherCAT

  • Nouvelle Fonctionnalité ! – Communication EtherCAT pour une réponse de contrôle à action rapide et une connectivité commune entre les appareils
  • Compacité aidant à réduire l’empreinte des machines
  • Modes de conduction configurable pour s’adapter à une large plage de charges
  • Fonctions de configuration et de stratégies avancées incluant maths, bloc linéarisation, et plus…
  • Option Sécurité OEM pour protéger votre propriété intellectuelle
  • Modes de contrôle et de conduction avancé permettant une réduction du bruit des harmoniques pour une optimisation de l’énergie et du facteur de puissance
  • Surveillance et diagnostics pour une efficacité énergétique et une disponibilité améliorées
  • Précision de mesure et précision de contrôle offrant une stabilité, uniformité et répétabilité de température pour un rendement constant et de qualité et un débit optimisé

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Besoin d’aide au développement pour répondre aux exigences technologiques de pointe?

During the creation of leading edge platforms you need equipment suppliers who can respond to your developmental needs. Development of Eurotherm products is supported by a highly-skilled R&D team, backed by control application expertise from a knowledgeable global support and service network. Internal Product Software development is approved to TickITplus Foundation Level, and Eurotherm Ltd are certified for Quality Management System ISO9001:2015.

Custom Hardware and Software

  • Special configuration files aid fast, right-first-time integration straight out of the box
  • Product firmware modifications to meet new requirements, or pre-defined set versions to help meet the needs of Copy Exact
  • Private labelling service aids OEM brand promotion

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