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Competenza nel controllo efficiente delle apparecchiature e dei processi di produzione dei semiconduttori

Scopri gli ultimi sviluppi nel controllo di temperatura nel Controllore di Potenza EPack con comunicazione EtherCAT e nel Controllore Multi Loop Mini8 con una maggiore precisione di ingresso

 

Controllo progettato per soddisfare le esigenze tecnologiche più avanzate

La progettazione e la realizzazione di tecnologie all’avanguardia si basano su risposte rapide e affidabili da parte dei fornitori di apparecchiature per soddisfare le esigenze di sviluppo di nuova generazione. I costruttori di macchine cercano dispositivi compatti per ridurre le dimensioni delle macchine. Altrettanto importante è la possibilità di limitare l’accesso alla loro proprietà intellettuale. Durante la lavorazione, sono necessarie misure precise della temperatura, un controllo preciso del riscaldatore e una risposta rapida alle variazioni della temperatura, per ottenere la stabilità, l’uniformità e la ripetibilità desiderate per un rendimento costante e di alta qualità e una produttività ottimizzata.

Eurotherm vanta oltre 25 anni di esperienza nel miglioramento delle prestazioni di controllo dei processi per la realizzazione di semiconduttori, aiutando così costruttori di macchine e aziende produttrici a soddisfare le esigenze dei loro clienti.

Le variazioni di temperatura influiscono sul tuo processo?

Misurazioni accurate e controllo di precisione ad azione rapida sono necessari per compensare le variazioni improvvise della temperatura nelle camere di lavorazione. Il Controllore Multi Loop Mini8 è ora disponibile con ingressi termocoppia avanzati che offrono una precisione CJ migliorata di +/-0,25°C (0,45°F). I controllori Mini8 dispongono di comunicazione EtherCAT in tempo reale e fino a 16 loop di controllo PID di precisione; offrono un controllo della temperatura ripetibile, ad alta stabilità e ad azione rapida, facilmente integrabile in PLC e nei sistemi più ampi.

Cerchi un controllo rapido della potenza per il processo di produzione dei wafer?

La rapidità del processo termico dei wafer in silicio a semiconduttori richiede una risposta di controllo rapida per ridurre al minimo l’impatto delle variazioni di temperatura. Il Controllore di Potenza Compatto EPack monofase è ora disponibile con comunicazione EtherCAT™ per un controllo ad azione rapida e una connettività comune tra i dispositivi. Il Controllore EPack consente di controllare la temperatura in modo accurato e ripetibile per ottenere rendimenti di alta qualità costanti, oltre a offrire monitoraggio e diagnostica per migliorare l’efficienza energetica e la disponibilità.

È difficile ridurre l’ingombro delle macchine?

L’evoluzione nella tecnologia dei semiconduttori genera componenti sempre più piccoli, i costruttori di macchine necessitano quindi di dispositivi che aiutino a soddisfare le sempre minori specifiche di ingombro delle macchine. I prodotti Eurotherm per il controllo di processo e della potenza sono progettati per fornire funzionalità all’avanguardia in dimensioni ridotte. Il Controllore Multi Loop Mini8 fornisce fino a 16 loop PID di precisione e 32 ingressi analogici per il controllo multizona del riscaldatore in un design modulare compatto. Il Controllore di Potenza Compatto EPack con funzioni di misura in tempo reale, I/O e comunicazioni integrati, offre precisione del controllo di potenza adattabile per applicazioni da 16 a 125 A e da 100 a 50 V.

Come proteggere la tua Proprietà Intellettuale?

Dopo lo sviluppo di configurazioni e ricette speciali per il controllo dei processi, è importante proteggere la proprietà intellettuale per evitare che vengano copiate. Il controllore Multi Loop Mini8 Eurotherm e i controllori di potenza EPack sono dotati di un’opzione di sicurezza OEM che consente agli specialisti delle applicazioni di controllo di limitare l’accesso alle informazioni di configurazione riservate, proteggendo così la proprietà intellettuale.

Cerchi apparecchiature che siano installabili e manutenibili rapidamente e con facilità?

I tempi di progettazione possono essere notevolmente ridotti scegliendo dispositivi con metodi di configurazione semplici da utilizzare. I prodotti di controllo discreti Eurotherm sono semplici da configurare, è possibile optare per la pre-configurazione al momento dell’ordine, utilizzare il codice di avvio rapido oppure il software di configurazione iTools gratuito, per una facile configurazione del controllo tramite programmazione con blocchi funzione e un editor grafico.

Integrazione Semplificata
I Controllori Mini8 dispongono di blocchi funzione per semplificare l’impostazione di loop PID, la programmazione dei setpoint, le ricette, la funzione di protezione IP e altro ancora. Il Controllore di Potenza EPack offre una varietà di modalità di controllo e innesco configurabili tramite software per gestire un’ampia gamma di carichi. Un display integrato semplifica la configurazione, mentre la diagnostica, le notifiche degli allarmi e il design senza ventole consentono una manutenzione più rapida.

Cerchi dispositivi di controllo rapidi nella risposta e semplici da collegare?

I processi per la produzione di semiconduttori sono standardizzati sul sistema fieldbus basato su Ethernet ad alta velocità, EtherCAT™ (Ethernet for Control Automation Technology), che consente la comunicazione in tempo reale delle informazioni di processo.

Controllori abilitati EtherCAT
I Controllori Multi Loop Mini8 e i Controllori di Potenza monofase EPack sono multiprotocollo e con EtherCat per semplificarne l’integrazione nell’architettura delle macchine. Il protocollo di comunicazione EtherCAT offre una risposta di controllo ad azione rapida e una connettività comune tra i dispositivi EtherCAT, facilmente integrabile in PLC e nei sistemi più ampi. L’utilizzo di dispositivi EtherCAT nella rete di controllo rappresenta una soluzione conveniente, in quanto è possibile utilizzare cablaggi CATx standard e non sono necessari switch di rete.

Devi ridurre i consumi energetici?

Gli obiettivi di riduzione delle emissioni nell’ambiente e i prezzi crescenti dell’energia stanno spingendo le aziende a migliorare l’efficienza energetica. La scelta di prodotti di controllo precisi nel misurare la temperatura e nel controllare più zone riscaldanti contribuisce a ridurre al minimo i consumi energetici.

Il Controllore Multi Loop Mini8 con ingressi termocoppia avanzati offre una precisione di misura CJ di +/-0,25°C (0,45°F). Con 16 loop di controllo PID di precisione, una gamma di funzioni e blocchi funzione di controllo proprietari, i controllori Mini8 offrono un controllo della temperatura multizona ad alta precisione che consente l’ottimizzazione dell’energia.

Il Controllore di Potenza EPack offre diverse modalità di innesco per adattarsi a un’ampia gamma di carichi del riscaldatore. Le modalità di controllo e innesco avanzate consentono di ridurre i disturbi delle armoniche e ottimizzare il fattore di potenza sulla rete elettrica. Ciò contribuisce a ridurre il consumo di energia e le penali legate al fattore di potenza imposte dai fornitori di energia.

Uno scarso controllo della temperatura influisce sulla produzione dei wafer?

Il trattamento termico dei wafer di silicio richiede un controllo accurato della temperatura con una risposta rapida alle variazioni della temperatura per ottenere le caratteristiche elettriche necessarie per i circuiti integrati di alta qualità. Per ottenere prodotti di alta qualità, è fondamentale ricorrere a setpoint multipli della temperatura di processo senza overshoot e raggiungere contemporaneamente uno stato stabile al fine di migliorare l’uniformità della temperatura.

Il Controllore PID Multi Loop Mini8 con ingressi termocoppia avanzati offre una precisione di misura CJ di +/-0,25°C (0,45°F). Gli algoritmi di controllo specifici e la comunicazione EtherCAT consentono una risposta rapida ai disturbi di temperatura con overshoot minimi. Una maggiore stabilità della temperatura contribuisce a ottenere l’uniformità termica dei wafer durante il processo di riscaldamento e raffreddamento.

Il Controllore di Potenza Compatto monofase EPack con comunicazione EtherCAT offre una risposta di controllo accurata in tempo reale, consentendo l’ottimizzazione del ciclo di riscaldamento, e quindi tempi di lavorazione ridotti. Un loop di controllo della potenza integrato compensa i disturbi sulla rete elettrica, mentre il controllo numerico della potenza consente la ripetibilità e la stabilità della temperatura per rendimenti di alta qualità costanti.

Controllore Multi Loop Mini8

Controllo di 4-16 loop PID di precisione con comunicazione EtherCAT

  • Nuova Funzionalità! – Gli ingressi termocoppia avanzati offrono una precisione di misura CJ di +/-0.25°C (0.45°F)
  • Design compatto per ridurre l’ingombro delle macchine
  • Blocchi funzione per l’impostazione semplificata di loop PID, programmazione dei setpoint, ricette, funzione di protezione IP e altro ancora…
  • Comunicazione EtherCAT per una risposta di controllo ad azione rapida e una connettività comune tra i dispositivi
  • Opzione di protezione OEM per proteggere il valore dell’IP
  • Risposta rapida alle variazioni di della temperatura con overshoot minimo, che migliora la qualità dei prodotti e l’efficienza energetica
  • Monitoraggio e diagnostica per migliorare l’operatività
  • 16 loop di controllo PID di precisione offrono stabilità della temperatura, uniformità e ripetibilità per un rendimento costante e di alta qualità e produttività ottimizzata

> Scopri di più

Controllore di Potenza Compatto EPack

Controllo di potenza a SCR monofase con comunicazione EtherCAT

  • Nuova funzionalità! – Comunicazione EtherCAT per una risposta di controllo ad azione rapida e connettività comune tra i dispositivi
  • Design compatto per ridurre l’ingombro delle macchine
  • Modalità di innesco configurabili per un’ampia gamma di carichi
  • Funzioni e strategie di configurazione avanzate, tra cui funzioni matematiche, blocco di linearizzazione e altro ancora…
  • Opzione di protezione OEM per proteggere il valore dell’IP
  • Le modalità di controllo e innesco avanzate consentono la riduzione del rumore delle armoniche per ottimizzare l’energia e il fattore di potenza
  • Monitoraggio e diagnostica per migliorare l’efficienza energetica e l’uptime
  • Precisione di misura e controllo che garantiscono stabilità, uniformità e ripetibilità della temperatura per un rendimento costante e di alta qualità e produttività ottimizzata

> Scopri di più

Hai bisogno di supporto per lo sviluppo per soddisfare i requisiti tecnologici avanzati?

Per creare piattaforme avanzate è necessario relazionarsi con fornitori di apparecchiature in grado di rispondere alle proprie specifiche esigenze. Lo sviluppo dei prodotti Eurotherm è supportato da un team di R&S altamente competente, con alle spalle una rete globale di assistenza e supporto competente forte di una lunga esperienza maturata nelle applicazioni di controllo. Lo sviluppo software interno del prodotto è approvato per il livello TickITplus base e Eurotherm è certificata per il sistema di gestione della qualità ISO9001:2015.

Hardware e software personalizzati

  • I file di configurazione speciali consentono l’integrazione immediata
  • Modifiche del firmware del prodotto per soddisfare i nuovi requisiti o versioni predefinite per soddisfare le esigenze di Copy Exact
  • Servizi di private labelling per OEM

> Scopri le soluzioni personalizzate per OEM

Assistenza Tecnica e Service

  • Helpdesk telefonico
  • Contratti di service
  • La competenza nel controllo PID e di potenza aiuta a soddisfare esigenze complesse di controllo della temperatura
  • Progetti di ingegnerizzazione e messa in servizio dei sistemi di controllo

Contatta la filiale locale per approfondire i requisiti tecnici

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Hai esigenze specifiche legate alla catena di approvvigionamento globale?

Eurotherm offre una gamma di funzionalità che consentono di semplificare i requisiti globali della supply chain:

  • Prodotti per il controllo della potenza e dei processi progettati per soddisfare le esigenze delle applicazioni di lavorazione dei semiconduttori
  • I codici di ordine personalizzati consentono di caricare i file di configurazione predefiniti per velocizzare gli ordini
  • Contratti di fornitura globali
  • Rete globale di partner/distributori
  • Prodotti progettati per la conformità con gli standard internazionali CE, UL, cUL, CCC (esente) e molto altro…
  • Progettati per rendimenti sostenibili

 

> Scopri i prodotti Eurotherm con Ecolabel Green Premium™

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