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Kompetenz in der effizienteren Steuerung von Halbleiteranlagen und -prozessen

Entdecken Sie die neuesten Verbesserungen der Temperaturregelung im EPack Power Controller mit EtherCAT-Kommunikation und im Mini8 Multi Loop Controller mit verbesserter Eingangsgenauigkeit

 

Verbesserte Regelung, die den Anforderungen der modernsten Technologie gerecht wird

Das Design und der Aufbau von Spitzentechnologie ist auf schnelle, zuverlässige Antworten von Ausrüstungslieferanten angewiesen, um den Anforderungen der nächsten Generation von Entwicklungen gerecht zu werden. Maschinenbauer benötigen kompakte Geräte, um kleinere Maschinengrundrisse zu realisieren, und die Begrenzung des Zugriffs auf wertvolles IP (geistiges Eigentum) ist ein wichtiger Faktor, um spezielle Prozessrezepte zu schützen. Während der Verarbeitung sind eine genaue Temperaturmessung, eine präzise Heizungssteuerung und eine schnelle Reaktion auf Temperaturstörungen erforderlich, um die gewünschte Temperaturstabilität, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für eine gleichbleibende, hochwertige Ausbeute und einen optimierten Durchsatz zu erreichen.

 

Eurotherm verfügt über mehr als 25 Jahre Erfahrung in der Verbesserung der Regelungsleistung innerhalb modernster Halbleiterprozesse und unterstützt Maschinenbauer, Fabs und Gießereien dabei, die Herausforderungen und Anforderungen ihrer Kunden zu erfüllen.

Wirken sich Temperaturschwankungen auf Ihren Prozess aus?

Um plötzliche Temperaturänderungen in Prozesskammern zu kompensieren, sind genaue Messungen und eine schnell reagierende Präzisionsregelung erforderlich. Der Mini8-Mehrkanalregler ist jetzt mit verbesserten Thermoelementeingängen erhältlich, die eine optimierte CJ-Genauigkeit von +/-0,25 °C (0,45 °F) bieten. Mit bis zu 16 Präzisions-PID-Regelkreisen und Echtzeit-EtherCAT-Kommunikation bieten die Mini8-Regler eine hochstabile, schnell reagierende und wiederholbare Temperaturregelung, die leicht in SPSen und weitere Systeme integriert werden kann.

Sie suchen eine schnell reagierende Leistungsregelung für Ihren Wafer-Herstellungsprozess?

Die rapide thermische Verarbeitung von Halbleiter-Siliziumwafern erfordert eine schnelle Steuerungsreaktion, um die Auswirkungen von Temperaturstörungen zu minimieren. Der einphasige EPack Compact Power Controller ist jetzt mit EtherCAT™-Kommunikation für schnelles Regelverhalten und geräteübergreifende Konnektivität erhältlich. Der EPack-Regler bietet Endanwendern eine genaue, wiederholbare Temperaturregelung für gleichbleibend hohe Qualitätserträge sowie Überwachung und Diagnose zur Verbesserung der Energieeffizienz und Betriebszeit.

Ist die Reduzierung des Fußabdrucks von Maschinen eine Herausforderung?

Da die Entwicklungen in der Halbleitertechnologie kleinere Komponenten ermöglichen, benötigen Maschinenbauer Geräte, die dabei helfen, die immer kleiner werdenden Spezifikationen für die Maschinen zu erfüllen. Die Prozess- und Leistungsregler von Eurotherm sind so konzipiert, dass sie modernste Funktionalität in einem kompakten Format bieten. Der Mini8 Multi-Loop-Regler verfügt über bis zu 16 Präzisions-PID-Regelkreise und 32 Analogeingänge für die Mehrzonen-Heizungsregelung in einem kompakten, modularen Design, während der EPack kompakter Thyristorsteller mit Echtzeitmessung, E/A und integrierter Kommunikation eine präzise einstellbare Leistungsregelung für 16 bis 125 A und 100 bis 500 V Anwendungen bietet.

Wie können Sie Ihr wertvolles geistiges Eigentum schützen?

Wenn Sie spezielle Konfigurationen zur Prozessregelung und Rezepte entwickelt haben, ist es wichtig, Ihr geistiges Eigentum zu schützen, um Kopien zu verhindern. Eurotherm Mini8 Multi-Loop-Regler und EPack-Leistungsregler verfügen über eine „OEM-Sicherheitsoption“, die es dem Regelungsanwendungsspezialisten ermöglicht, den Zugriff auf seine vertraulichen Konfigurationsinformationen zu beschränken und so sein geistiges Eigentum zu schützen.

Suchen Sie nach Geräten, die schnell und einfach zu installieren und zu warten sind?

Die Entwicklungszeit kann durch die Wahl von Geräten mit einfach zu bedienenden, vertrauten Konfigurationsmethoden erheblich reduziert werden. Die diskreten Regelungsprodukte von Eurotherm verfügen über Funktionen, die die Konfiguration erleichtern, wie z. B. Vorkonfiguration bei der Bestellung, schnelle Inbetriebnahme über Quick Code und die kostenlose iTools-Konfigurationssoftware für eine einfache Regeleinrichtung mit Funktionsblockprogrammierung und einem grafischen Verknüpfungseditor.

Einfachere Integration
Mini8-Regler bieten Funktionsblöcke für die vereinfachte Einrichtung von PID-Regelkreisen, Sollwertprogrammierung, Rezepten, IP-Schutzfunktion und mehr. EPack Thyristorsteller bietet eine Vielzahl von softwarekonfigurierbaren Regel- und Zündmodi, die für eine Vielzahl von Lasten geeignet sind. Ein eingebautes Display vereinfacht die Konfiguration, während Diagnosen, Alarmmeldungen und ein lüfterloses Design eine schnellere Wartung ermöglichen.

Sie suchen schnell reagierende, einfach anschließbare Steuergeräte?

Halbleiterprozesse standardisieren auf das Hochgeschwindigkeits-Ethernet-basierte Feldbussystem EtherCAT™ (Ethernet for Control Automation Technology), das die Echtzeitkommunikation von Prozessinformationen ermöglicht.

EtherCAT-fähige Steuerungen
Der Mehrkanalregler Mini8 und der einphasige Leistungsregler EPack sind Multiprotokoll- und EtherCAT-fähig für eine vereinfachte Integration in die Maschinenarchitektur. Das EtherCAT-Kommunikationsprotokoll bietet eine schnell reagierende Regelung und eine einheitliche Konnektivität über EtherCAT-Geräte hinweg, die einfach in SPSen und weitere Systeme integriert werden können. Die Verwendung von EtherCAT-fähigen Geräten im Steuerungsnetzwerk bietet eine kostengünstige Lösung, da Standard-CATx-Verkabelungen verwendet werden können und keine Netzwerk-Switches erforderlich sind.

Müssen Sie den Energieverbrauch reduzieren?

Umweltauflagen und hohe Energiepreise in einigen Regionen treiben Unternehmen dazu an, die Energieeffizienz zu verbessern. Die Wahl von Regelungsprodukten, die die Temperatur genau messen und präzise über mehrere Heizzonen hinweg regeln können, hilft dabei, den Energieverbrauch zu minimieren.

Der Mini8-Mehrkanalregler, mit verbesserten Thermoelementeingängen, bietet eine CJ-Messgenauigkeit von +/-0,25 °C. Mit 16 Präzisions-PID-Regelkreisen, einer Reihe von Eurotherm-eigenen Regelungsmerkmalen und Funktionsblöcken bieten die Mini8-Regler eine hochpräzise, mehrzonige Temperaturregelung, die zur Energieoptimierung beiträgt.

Der EPack-Leistungsregler bietet eine Vielzahl von Feuerungsmodi, die für eine Vielzahl von Heizlasten geeignet sind. Die fortschrittlichen Regelungs- und Feuerungsmodi ermöglichen die Reduzierung von Oberwellen und die Optimierung des Leistungsfaktors im elektrischen Netz. Dies wiederum hilft, den Energieverbrauch und die von den Energieversorgern auferlegten Strafgebühren für den Leistungsfaktor zu reduzieren.

Beeinträchtigt eine schlechte Temperaturregelung die Wafer-Erträge?

Die thermische Bearbeitung von Siliziumwafern erfordert eine genaue Temperaturregelung mit schneller Reaktion auf Temperaturstörungen, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften für hochwertige integrierte Schaltungen zu erreichen. Das Rampen auf mehrere Prozesstemperatur-Sollwerte ohne Überschwingen und das gleichzeitige Erreichen des Beharrungszustands für eine verbesserte Temperaturgleichmäßigkeit sind der Schlüssel zum Erreichen einer hohen Qualitätsausbeute.

Der Mini8 Multi-Loop-PID-Regler mit verbesserten Thermoelement-Eingängen bietet eine CJ-Messgenauigkeit von +/-0,25°C (0,45°F). Spezielle Regelalgorithmen und EtherCAT-Kommunikation ermöglichen eine schnelle Reaktion auf Temperaturstörungen mit minimalem Überschwingen. Eine verbesserte Temperaturstabilität hilft, eine thermische Gleichmäßigkeit der Wafer während des Heiz- und Kühlprozesses zu erreichen.

Der einphasige EPack Kompakt-Leistungssteller mit EtherCAT-Kommunikation bietet ein genaues Regelverhalten in Echtzeit und ermöglicht eine Optimierung des Heizzyklus für eine reduzierte Prozesszeit. Ein integrierter Leistungsregelkreis kompensiert Störgeräusche im Stromnetz, während die numerische Leistungsregelung Temperaturwiederholbarkeit und -stabilität für gleichbleibend hohe Qualitätsausbeuten ermöglicht.

Mini8 Mehrkanalregler

Precision 4-16 Loop PID Control with EtherCAT Communication

  • New feature! – Enhanced thermocouple inputs offer CJ measurement accuracy of +/-0.25°C (0.45°F)
  • Compact design helps reduce machine footprint
  • Function blocks for simplified setup of PID loops, setpoint programming, recipes, IP protection feature and more…
  • EtherCAT communication for fast acting control response and common connectivity across devices
  • OEM Security Option for guarding valuable IP
  • Fast response to temperature disturbances with minimal overshoot, aids product quality and energy efficiency
  • Monitoring and diagnostics for improving up-time
  • 16 precision PID control loops offer temperature stability, uniformity and repeatability for a consistent, high quality yield and optimized throughput

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EPack Compact Power Controller

Single Phase SCR Power Control with EtherCAT Communication

  • New feature! – EtherCAT communication for fast acting control response and common connectivity across devices
  • Compact design helps reduce machine footprint
  • Configurable firing modes to fit a wide range of loads
  • Advanced configuration functions and strategies including maths, linearization block, and more…
  • OEM Security Option for guarding valuable IP
  • Advanced control and firing modes allow harmonic noise reduction for optimization of energy and power factor
  • Monitoring and diagnostics for improving energy efficiency and up-time
  • Measurement accuracy and control precision offer temperature stability, uniformity and repeatability for a consistent, high quality yield and optimized throughput

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  • Global Supply Agreements
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  • Products designed to comply with international standards CE, UL, cUL, CCC (exempt), and more…
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