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更有效地控制半导体设备和工艺的专业知识

了解以下产品最新的温度控制增强功能——带EtherCAT通讯功能的Epack功率控制器,以及具有改进输入精度的Mini8多回路控制器

 

 

增强控制应对前沿技术

先进技术的设计和建造依赖于设备供应商快速、可靠的响应,帮助满足下一代发展的需求。机器制造者需要紧凑的设备来满足更小的机器占地面积,限制对有价值的IP(知识产权)的访问是保护专用工艺配方的一个重要因素。在加工过程中,需要精确的温度测量、精确的加热器控制和对温度扰动的快速响应,以达到所需的温度稳定性、均匀性和可重复性,从而获得一致、高质量的成品率和优化的生产量。

 

Eurotherm 在提高领先半导体工艺的控制性能方面拥有超过25年的经验,帮助设备制造商、工厂和铸造厂满足客户的挑战和需求

温度扰动会影响您的工艺吗?

为了补偿过程温度的突然变化,需要精确的测量和快速的精密控制。Mini8多回路控制器现在提供了增强型热电偶输入,提高了CJ精确度+/-0.25°C(0.45°F)。Mini8控制器具有多达16个精确的PID控制回路和实时EtherCAT通信,可提供高稳定性、快速、可重复的温度控制,易于集成到PLC和更广泛的系统中。

正为您的晶圆制造过程寻找快速的功率控制?

半导体硅片的快速热处理需要迅速的控制响应,以尽量减少温度扰动的影响。单相EPack 紧凑型功率控制器现在带有EtherCAT™通讯,可以快速反应控制响应以及设备间的通用连接。EPack控制器为最终用户提供精确的、可重复的温度控制,以获得一致的高质量产量,以及监测和诊断,以提高能源效率和运行时间。

减少设备的占地面积是一个挑战吗?

随着半导体技术的发展使更小的组件成为可能,机器制造商需要有助于满足不断减少的机器占地规格的设备。Eurotherm工艺和功率控制产品旨在以紧凑的外形提供领先的功能。Mini8多回路控制器以紧凑的模块化设计为多区域加热器控制提供多达16个精确的PID回路和32个模拟输入,而内置实时测量、I/O和通信的EPack紧凑型功率控制器为16至125A和100至500V应用提供精确可调功率控制。

如何保护你宝贵的知识产权?

当您开发了特殊的过程控制配置和配方时,保护您的知识产权以防止复制非常重要。Eurotherm Mini8多回路控制器和EPack电源控制器具有“OEM安全选项”,允许控制应用专家限制对其机密配置信息的访问,帮助保护其知识产权。

寻找快速且易于安装和维护的设备?

通过选择易于使用的熟悉配置方法的设备,可以大大缩短工程时间。Eurotherm离散控制产品具有辅助配置的功能,例如在订购点进行预配置、快速代码启动和免费的iTools配置软件,以便使用功能块式编程和图形布线编辑器进行轻松的控制设置。

简化集成
Mini8控制器提供功能块,用于简化PID回路设置、设定点编程、配方、IP保护功能等。EPack电源控制器提供多种软件可配置控制和点火模式,以适应各种负载。内置显示屏简化了配置,而诊断、警报通知和无风扇设计可加快维护速度。

寻找快速响应,易于连接的控制设备?

半导体工艺在基于高速以太网的现场总线系统EtherCAT™上实现了标准化(用于控制自动化技术的以太网),允许过程信息的实时通信。

启用EtherCAT的控制器
Mini8多回路控制器和EPack单相电源控制器是多协议和以太猫,可以简化集成到机器结构中。EtherCAT通信协议提供快速反应的控制响应和EtherCAT设备之间的通用连接,易于集成到PLC和更广泛的系统中。在整个控制网络中使用支持EtherCAT的设备提供了一个经济高效的解决方案,因为可以使用标准的CATx布线,而且不需要网络交换机。

您需要减少能源消耗吗?

一些地区的环境排放目标和高能源价格正在推动企业提高能源效率。选择能够精确测量温度和精确控制多个加热器区域的控制产品有助于最大限度地减少能源消耗。

带有增强热电偶输入的Mini8多回路控制器提供+/-0.25°C(0.45°F)的CJ测量精度。Mini8控制器具有16个精确的PID控制回路、一系列Eurotherm专有控制特性和功能块,可提供高精度、多区域温度控制,帮助优化能源。

Epack功率控制器提供多种点火模式,以适应各种加热器负载。先进的控制和点火模式允许降低谐波噪声和优化电网的功率因数。反过来,这有助于减少能源使用和能源供应商征收的功率因数罚款。

温度控制不当是否会影响晶圆产量?

硅晶圆的热加工需要精确的温度控制和对温度扰动的快速响应,以获得高质量集成电路所需的电性能。在没有超调的情况下过渡到多个工艺温度设定点,同时达到稳定状态以改善温度均匀性,是实现高质量产量的关键。

Mini8多回路PID控制器具有增强的热电偶输入,可提供+/-0.25°C(0.45°F)的CJ测量精度。专门的控制算法和EtherCAT通信能够以极小的超调量快速响应温度扰动。改进的温度稳定性有助于在加热和冷却过程中实现晶圆的热均匀性。

单相EPack紧凑型电源控制器与EtherCAT通信,提供精确的实时控制响应,实现热循环优化,缩短处理时间。集成功率控制回路可补偿电网上的噪声干扰,而数字功率控制可实现温度重复性和稳定性,从而获得一致的高质量产量。

Mini8 多回路控制器

带有EtherCAT通讯的精密4-16回路PID控制

  • 新功能! – 增强型热电偶输入可提供+/-0.25°C(0.45°F)的CJ测量精度
  • 紧凑设计有助于减少设备占地面积
  • 简化PID回路设置、设定点编程、配方、IP保护功能等功能块…
  • EtherCAT 通信,用于快速反应控制响应和设备间的通用连接
  • OEM安全选项,用于保护有价值的IP
  • 极小超调,有助于提高产品质量和能源效率
  • 监测和诊断以提高正常运行时间
  • 16 个精密PID控制回路提供温度稳定性、均匀性和可重复性,以实现一致、高质量的产量和优化的吞吐量。

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EPack 紧凑型功率控制器

采用EtherCAT通讯的单相可控硅功率控制

  • 新功能! – EtherCAT 通信,用于快速响应控制和设备之间的通用连接
  • 紧凑设计有助于减少设备占地面积
  • 可配置点火模式,以适应各种负载
  • 高级配置功能和策略,包括数学、线性化模块等…
  • OEM 安全选项,用于保护有价值的IP
  • 先进的控制和点火模式可降低谐波噪声,优化能量和功率因数
  • 监测和诊断,以提高能源效率和运行时间
  • 测量精度和控制精度提供温度稳定性、均匀性和可重复性,以获得一致、高质量的产量和优化的生产能力

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需要开发支持来满足前沿技术需求?

在创建前沿平台的过程中,您需要能够响应您发展需求的设备供应商。Eurotherm产品的开发由一支高技能的研发团队提供支持,并由知识渊博的全球支持和服务网络提供控制应用专业知识。内部产品软件开发通过了TickITplus基础级认证,Eurotherm Ltd.通过了ISO9001:2015质量管理体系认证。

定制硬件和软件

  • 特殊的配置文件有助于快速、一次性集成
  • 修改产品固件以满足新要求,或预定义的设置版本以帮助满足精确拷贝的需要
  • 私人标签服务有助于OEM品牌推广

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工程支持和服务

  • 24小时技术支持服务台
  • 服务级别协议
  • PID 回路和功率控制专业知识,帮助诊断复杂的温度控制挑战
  • 控制系统工程项目和调试

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能否轻松满足您的全球供应链需求?

Eurotherm 提供一系列特性服务,帮助简化您的全球供应链需求:

  • 用于满足半导体加工应用需求的高性能工艺和功率控制产品
  • 定制的订单代码使预加载的配置文件能够快速订购
  • 全球供应协议
  • 全球合作伙伴/经销商网络
  • 产品设计符合国际标准CE、UL、cUL、CCC(豁免)等…
  • 可持续性能,按设计
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