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반도체 장비 및 효울적 프로세스 제어에 대한 전문 지식

최신의 EtherCAT 통신 기능이있는 EPack 전력 컨트롤러와 입력 정확도가 향상된 Mini8 Multi Loop 컨트롤러로 온도 제어 기능 향상

Enhanced control designed to meet leading edge technology challenges

The design and build of leading edge technology relies on fast, reliable responses from equipment suppliers to help meet the demands of next generation developments. Machine builders need compact devices to meet smaller machine footprints, and limiting access to valuable IP (intellectual property) is an important factor to protect specialized process recipes. During processing, accurate temperature measurement, precise heater control and fast response to temperature disturbances are required, to achieve the desired temperature stability, uniformity and repeatability for a consistent, high quality yield and optimized throughput.

 

Eurotherm have over 25 years experience in improving control performance within leading edge semiconductor processes, helping machine builders, fabs and foundrys to meet their customers’ challenges and demands.

온도편차가 공정에 영향을 줍니까?

공정 챔버의 급격한 온도 변화에 대응하기 위해서는 정확한 측정과 신속한 정밀 제어가 필요합니다. Mini8 멀티 루프 컨트롤러는 이제 +/-0.25°C (0.45°F)의 향상된 CJ 정확도를 가진 열전대 입력과 함께 사용할 수 있습니다. 최대 16개의 정밀한 PID 제어 루프와 실시간 EtherCAT 통신을 통해 Mini8 컨트롤러는 높은 안정성, 빠르게 재현되는 온도제어기능을 제공하며 PLC 및 상위 시스템에 쉽게 통합됩니다.

웨이퍼 제조 공정을 위한 빠른 전력 제어를 원하십니까?

반도체 실리콘 웨이퍼의 빠른 열처리는 온도편차의 영향을 최소화하기 위해 빠른 제어 응답이 필요합니다. 단상 EPack 소형 전력 컨트롤러는 이제 EtherCAT ™ 통신과 함께 사용하여 빠른 제어 응답 및 장치간 연결을 제공합니다. EPack 컨트롤러는 최종 사용자에게 일관되고 높음품질의 수율을 위한 정확하고 재연 가능한 온도 제어를 제공 할뿐 만 아니라 에너지 효율과 가동시간을 개선하기 위한 모니터링 및 진단 기능을 제공합니다.

Is reducing the footprint of machines a challenge?

As developments in semiconductor technology enable smaller components, machine builders need devices that help meet decreasing machine footprint specifications. Eurotherm process and power control products are designed to provide leading edge functionality in a compact form factor. The Mini8 Multi Loop Controller provides up to 16 precision PID loops and 32 analogue inputs for multizone heater control in a compact modular design, while the EPack Compact Power Controller with real-time measurement, I/O and communications built in, offers precision adjustable power control for 16 to 125A and 100 to 500V applications.

How can you protect your valuable IP?

When you’ve developed special process control configurations and recipes, its important to protect your intellectual property to prevent copying. Eurotherm Mini8 Multi Loop Controller and EPack Power Controllers have an ‘OEM Security Option’, allowing the control application specialist to limit access to their confidential configuration information, helping to guard their intellectual property.

쉽고 빠르게 설치하고 유지하기 위한 장비를 찾고 계십니까?

익숙한 설정 방법으로 쉽게 사용할 수 있는 장치를 선택하면 엔지니어링 시간을 크게 줄일 수 있습니다. Eurotherm 개별 제어 제품에는 사전 주문형 설정 코드, 퀵코드 시작 및 펑션블록 스타일 프로그래밍 및 그래픽 와이어 편집기를 사용하여쉽게 제어 설정을 할 수 있는 iTools 설정 소프트웨어가 함께 제공 됩니다.

간단한 통합
Mini8 컨트롤러는 PID 루프, SP 프로그래밍, 레시피, IP 보호 기능 등을 간단하게 설정하기 위한 펑션블록을 제공합니다. EPack Power Controller는 다양한 부하에 맞게 다양한 소프트웨어 설정 가능 제어 및 점화모드를 제공합니다. 내장 된 디스플레이는 구성을 단순하고 진단, 알람 알림을 제공하는 한편, 팬이없는 설계로 보다 빠른 유지 보수가 가능합니다.

빠른 응답과 쉽게 연결이 가능한 제어 장치를 찾고 계십니까?

반도체 공정은 공정 정보의 실시간 통신을 가능하게하는 고속 이더넷 기반 필드 버스 시스템 인 EtherCAT ™ (자동화제어 기술 용 이더넷)으로 표준화되고 있습니다.

EtherCAT 지원 컨트롤러
Mini8 멀티 루프 컨트롤러 및 EPack 단상 전력 컨트롤러는 멀티 프로토콜 및 EtherCat으로 장비 아키텍처에 간단하게 통합 할 수 있습니다. EtherCAT 통신 프로토콜은 PLC 및 더 넓은 시스템에 쉽게 통합되어 EtherCAT 장치로 빠른 작동 제어 응답 및 공통 연결을 제공합니다. 제어 네트워크에서 EtherCAT 지원 장치를 사용하면 표준 CATx 배선을 사용할 수 있고 네트워크 스위치가 필요하지 않으므로 저비용 고효율의 솔루션을 제공합니다.

에너지 사용량을 줄여야합니까?

일부 지역의 탄소배출 규제와 높은 에너지 가격은 에너지 효율을 개선 사업을 견인하고 있습니다. 멀티 존 히터에서 온도를 정확하게 측정하고 정확하게 제어 할 수있는 제어 제품을 선택하면 에너지 사용을 최소화 할 수 있습니다.

열전대 입력성능이 향상된 Mini8 멀티 루프 컨트롤러는 +/-0.25°C (0.45°F)의 CJ 측정 정확도를 제공합니다. 16 개의 정밀 PID 제어 루프, 다양한 Eurotherm의 특별한 제어 기능 및 펑션블록을 갖춘 Mini8 컨트롤러는 에너지 최적화와 함께 높은 정확도의 멀티 존 온도 제어 기능을 제공합니다.

EPack 전력 컨트롤러는 다양한 히터 부하에 적합한 다양한 점화모드를 제공합니다. 고급 제어 및 점화모드는 전기 네트워크에서 고조파 노이즈 감소 및 역률 최적화를 가능하게합니다. 이는 에너지 사용량과 전력 공급 업체가 부과하는 역률 패널티 비용을 줄이는 데 도움이됩니다.

온도 제어가 불량하여 웨이퍼 수율에 영향을 줍니까?

실리콘 웨이퍼의 열 처리는 고품질의 집적 회로에 원하는 전기적 특성을 부여하기 위해 온도 변화에 대해 빠른 응답으로 정확한 온도 제어가 필요합니다. 오버 슈트없이 여러 공정 온도 설정 값으로 램핑하고 온도 균일성을 개선하기 위해 동시에 정상 상태에 도달하는 것은 고품질 수율을 달성하는 데 중요합니다.

향상된 열전대 입력 기능이 있는 Mini8 다중 루프 PID 컨트롤러는 +/-0.25°C (0.45°F)의 CJ 측정 정확도를 제공합니다. 특수한 제어 알고리즘과 EtherCAT 통신은 최소한의 오버 슈트로 온도 변화에 신속하게 대응합니다. 개선된 온도 안정성은 가열 및 냉각 과정에서 웨이퍼의 열 균일성을 달성하는 데 도움이됩니다.

EtherCAT 통신 기능이있는 단상 EPack 소형 전력 컨트롤러는 정확한 실시간 제어 응답을 제공하여 공정시간 단축을 위한 열 사이클 최적화를 가능하게합니다. 통합 된 전력 제어 루프는 전력망의 노이즈을 보상하는 반면 수치적 전력 제어는 온도 재연성 및 안정성을 통해 일관되고 높은 품질의 수율을 제공합니다.

Mini8 멀티 루프 컨트롤러

EtherCAT 통신과 4-16 루프 PID 정밀제어

  • 새로운 특성! – 향상된 열전대 입력으로 +/-0.25°C (0.45°F)의 CJ 측정 정확도 제공
  • 컴팩트 한 디자인으로 장비 내 점유 공간 감소
  • PID 루프, 설정값 프로그래밍, 레시피, 지적재산(IP) 보호 기능 등을 간단하게 설정하기위한 펑션 블록 등등…
  • 빠른 제어 동장 응답 및 장치 간 연결을 위한 EtherCAT 통신
  • 귀중한 지적재산(IP) 보호를 위한 OEM 보안 옵션
  • 최소의 오버 슈트로 온도 변화에 대한 빠른 응답, 제품 품질 및 에너지 효율 지원
  • 가동 시간 개선을 위한 모니터링 및 진단
  • 16개의 PID 정밀제어 루프는 온도 안정성, 균일성 및 재연성을 제공하여 일관되고 높은 품질의 수율과 최적화된 처리량을 제공합니다.

더 많은 정보

EPack 소형 전력 컨트롤러

EtherCAT 통신을 통한 단상 SCR 전력 제어

  • 새로운 특성! – 빠른 제어동작 응답 및 장치 간 공통 연결을 위한 EtherCAT 통신
  • 컴팩트 한 디자인으로 장비내 점유공간 감소
  • 다양한 부하에 맞는 구성 가능한 스위칭모드
  • 연산, 선형화 블록 등을 포함한 고급 설정 기능과 전략등등…
  • 귀중한 지적재산 보호를 위한 OEM 보안 옵션
  • 고급 제어 및 스위칭모드로 에너지 및 역률 최적화를 위한 고조파 노이즈 감소
  • 에너지 효율 및 가동 시간 향상을 위한 모니터링 및 진단
  • 측정 정확도 및 제어 정밀도는 일관고 높은 품질의 수율 및 최적화 된 처리량을 위해 온도 안정성, 균일성 및 재연성을 제공합니다.

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최첨단 기술 요구 사항을 충족하기 위해 개발 지원이 필요합니까?

최첨단 플랫폼을 만드는 동안 개발 요구에 대응할 수있는 장비 공급 업체가 필요합니다. Eurotherm 제품의 개발은 지식이 풍부한 글로벌 지원 및 서비스 네트워크의 제어 애플리케이션 전문 지식을 바탕으로 고도로 숙련 된 R&D 팀이 지원합니다. 내부 제품 소프트웨어 개발은 ​​TickITplus Foundation 수준으로 승인되었으며 Eurotherm Ltd는 품질 관리 시스템 ISO9001 : 2015 인증을 받았습니다.

맞춤형 하드웨어 및 소프트웨어

  • 특별한 설정 파일을 통해 즉각적이고 빠른 설치가 가능합니다
  • 새로운 요구 사항을 충족하기위한 제품 펌웨어 수정 또는 Copy Exact의 요구를 충족시키기 위해 사전 정의 된 세트 버전
  • 개별 라벨링 서비스는 OEM 브랜드 홍보에 도움을줍니다

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엔지니어링 지원 및 서비스

  • 24 시간 기술 지원 헬프 데스크
  • 서비스 수준 계약
  • 복잡한 온도 제어 문제를 진단하는 데 도움이되는 PID 루프 및 전력 제어 전문 기술
  • 제어 시스템 엔지니어링 프로젝트 및 시운전

엔지니어링 요구 사항에 대해서는 지역 영업 엔지니어에게 문의하십시오

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전세계 공급망 요구를 쉽게 충족시킬 수 있습니까?

Eurotherm은 전 세계 공급망의 요구 사항을 단순화하는 데 도움이되는 다양한 기능을 제공합니다.

  • 반도체 공정 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고성능 프로세스 및 전력 제어 제품
  • 빠른 주문을 위해 사전 설정 파일 로드가 포함된 맞춤 주문 코드가 가능합니다.
  • 글로벌 공급 계약
  • 전세계 파트너 / 판매 네트워크
  • 국제 표준 CE, UL, cUL, CCC (면제) 등을 준수하도록 설계된 제품
  • 설계에 의한 지속 가능한 성능
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